压电薄膜的制备、结构与应用

　　序
　　前言
　　第一章  压电材料与压电学基础
　　1.1 压电材料的发展
　　1.2 晶体的点阵结构和对称性
　　1.3 晶体的压电性质
　　1.4 压电薄膜的电学性质
　　参考文献
　　第二章  压电薄膜的制备方法
　　2.1 真空基础基础
　　2.2 真空蒸发镀膜
　　2.3 溅射镀膜
　　2.4 化学气相沉积
　　2.5 磁控溅射制备AIN薄膜
　　参考文献
　　第三章  薄膜的形成、结构与缺陷研究
　　3.1 薄膜的形成过程
　　3.2 薄膜的机构
　　3.3 薄膜的缺陷
　　参考文献
　　第四章  薄膜材料的表征方法
　　4.1 薄膜厚度的测量
　　4.2 薄膜结构的表征
　　4.3 薄膜成分的分析
　　参考文献
　　第五章  AIN薄膜择优取向的研究
　　5.1 溅射气压对薄膜择优取向的影响
　　5.2 靶基距对薄膜则有取向的影响
　　5.3 靶功率对薄膜则有取向的影响
　　5.4 氮气浓度对薄膜则有取向的影响
　　5.5 基片种类对薄膜则有取向的影响
　　5.6 薄膜则有取向机理的探讨
　　5.7 薄膜则有取向程度与实验参数之间的函数关系
　　5.8 薄膜的组织
　　参考文献
　　第六章  AIN薄膜的表面结构和组成分析
　　6.1 AIN薄膜的表面粗糙度分析
　　6.2 AIN薄膜的组成分析
　　参考文献
　　第七章  压电薄膜的反应
　　7.1 声表面波器件应用
　　7.2 压电薄膜题波模的应用
　　参考文献
　　附录 230个晶体学空间群

　　    《压电薄膜的制备结构与应用》系统地介绍了压电学的基本原理和压电薄膜的制备方法。形成过程、结构特征及其应用。《压电薄膜的制备结构与应用》共分七章。前四章为压电材料与压电学基础、压电薄膜的制备方法、薄膜的结构与缺陷、薄膜结构和组成的分析测试方法。第五章和第六章为作者在AlN压电薄膜方面的研究成果：AlN薄膜的择优取向结构，AlN薄膜的表面结构和组成。第七章为压电薄膜的应用。《压电薄膜的制备结构与应用》体系完整。内容丰富，基础理论论述简洁。
　　    《压电薄膜的制备结构与应用》可供从节压电薄膜材料研究的科技人员以及从事表声波和体波器件研制的工程技术人员参阅，也可供高等院校相关专业的师生和研究生参考。